形状図
| 型号 | 最大轴孔径 （mm） |
额定扭矩 （N・m）＊1 |
最大扭矩 （N・m）＊1 |
最高转速 （min-1） |
惯性 力矩 （kg・m2）＊2 |
静态 扭转刚性 （N・m/rad） |
容许偏心 （mm） |
容许偏角 （°） |
质量 （g）＊2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MOHS-32C-10-14 | 14 | 2.2 | 4.4 | 900 | 1.6×10-5 | 600 | 2 | 2 | 110 |
＊1：无需根据负荷变化修正额定扭矩和最大扭矩。详情请参考选型步骤。
＊2： 最大轴孔径时的值。
材质、表面处理
| MOHS-C | |
|---|---|
| 轴套 | SUS303 |
| 间隔体 | Vespel＊1 |
| 内六角圆柱头螺栓 | SUSXM7 二硫化钼涂层 |
＊1： VESPEL是杜邦公司的注册商标。
颜色可能会因批次等而变化。
特点
- 特性
| MOHS-C | |
|---|---|
| 低尘 | △ |
| 适用于真空环境 | ◎ |
| 低排气 | ○ |
| 耐热 | ◎ |
| 耐药性 | ○ |
| 容许误差调整 | ◎ |
| 电绝缘性 | ◎ |
| 无尘 | ◎ |
| 可使用温度 | -20℃～200℃ |
- 十字滑块型挠性联轴器。
- 已完成无尘洗净、无尘包装。可在FPD生产设备等需要的耐热、耐药品性环境或无尘室中使用。
-
间隔体采用Vespel SCP-5000。
耐热性、耐药品性优异，高温下的排气量极少。 - 通过轴套与间隔体的滑移，允许有偏心、偏角存在。
- 因误差调整量而产生的轴载荷变小，减轻了轴的负担。
用途
FPD生产设备/半导体生产设备排气的分析
单位 : （v/v ppm）
| 成分 | 含量 | |
|---|---|---|
| 无机气体 | 氢 | 500以下 |
| 一氧化碳 | 500以下 | |
| 二氧化碳 | 500以下 | |
| 有机气体 | 甲烷 | 5以下 |
| 乙烷 | 5以下 | |
| 乙烯 | 5以下 | |
| 丙烷 | 5以下 | |
| 乙炔 | 5以下 | |
| i-丁烷 | 5以下 | |
| n-丁烷 | 5以下 | |
| 丙烯 | 5以下 | |
无机气体、有机气体均在定量下限以下，无法检测。
- 测量方法
无机气体----气相色谱法（TCD）
有机气体----气相色谱法（FID） -
测量条件
加热温度----100℃
偏心反作用力
轴套与间隔体的初始滑移负载值。磨合运动后，滑移负载变小，通过调整误差降低轴负载，减轻轴等的负担。
温度引起的静态扭转刚性数值的变化
以在20℃时的静态扭转刚性数值为100％时的值。MOHS-C的静态扭转刚性数值很少因温度而产生变化，响应性变化极少。在高温下使用时，请注意轴因热膨胀而出现的伸长或弯曲所引起的误差。
