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  • 特殊螺丝
  • 无尘环境适用螺丝

SCAP-3-AL

盖帽

Cover Cap

  • 真空
  • 无尘
  • 耐药品
  • 低排气

形状図

SCAP-AL盖帽寸法図

单位 : mm

型号 M(细牙)
螺纹公称直径
螺距 H D1 h a ta 建议紧固扭矩
(N・m)
适用盖帽用
螺栓
SNCPS
质量
(g)
CAD下载 请求报价
SCAP-3-AL M5 0.5 5 7 2 0.8 0.6 0.1 SNCPS-M3 0.4 CAD 请求报价

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材质、表面处理

SCAP-AL
盖帽
主体 A5056
强度等级

用途

成膜装置/蚀刻装置/FPD制造装置/半导体制造装置

特点

  • 请将盖帽SCAP与盖帽用螺栓SNCPS组合使用。
  • 防止真空室内的处理气体或等离子体腐蚀螺栓头部。
  • SCAP将铝合金制和陶瓷制标准化。
    SCAP-AL----铝合金制
    SCAP-CE----陶瓷制
  • 由于螺丝的紧固部位由不锈钢制成,与铝制和陶瓷制螺丝相比,可以获得更高的紧固力。
  • 经过无尘洗净・无尘包装。⇒无尘洗净、无尘包装服务
  • 我们也制作INCONEL(镍铬合金)*1、HASTELLOY(哈氏合金)*1等所特殊要求材质的盖帽。

*1: INCONEL是SMC国际超合金集团的注册商标。
*1: HASTELLOY是美国哈氏合金国际公司的注册商标。


使用注意事项

视使用条件的不同,耐蚀性会发生变化。事先请务必在与实际情况相同的使用条件下进行试验。

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