形状図
尺寸・CAD
单位 : mm
| 型号 | M | s | L | Db | B | d | 荷重（N） min./max. |
毎包数量 | 质量 (g) |
CAD下载 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PVFS-5 | 5 | 0.9 | 12 | 3 | 2.5 | 1.5 | 5.7/9.6 | 1 | 0.9 | - |
| PVFS-6 | 6 | 1 | 14 | 3.5 | 3 | 2 | 6.9/13 | 1 | 1.5 | - |
| PVFS-8 | 8 | 1.5 | 16 | 5 | 4 | 2 | 9.5/16 | 1 | 3.5 | - |
| PVFS-10 | 10 | 2 | 19 | 6 | 5 | 3 | 16/28 | 1 | 7 | - |
材质、表面处理
| PVFS | |
|---|---|
| 主体 | 相当于SUS304 |
| 球 | SUS440C（硬度55-60HRC） 薄膜氟涂层 |
| 弹簧 | SUS631J1 |
用途
工件的固定・定位真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置
特点
- 用于FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的定位。
- 经过无尘洗净・无尘包装。⇒无尘洗净、无尘包装服务
- 通过薄膜氟涂层，无尘洗净后提高了球的润滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。
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