材质、表面处理
PVFS | |
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主体 | 相当于SUS304 |
球 | SUS440C(硬度55-60HRC) 薄膜氟涂层 |
弹簧 | SUS631J1 |
用途
工件的固定・定位真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置
特点
- 用于FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的定位。
- 经过无尘洗净・无尘包装。⇒无尘洗净、无尘包装服务
- 通过薄膜氟涂层,无尘洗净后提高了球的润滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。
PVFS | |
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主体 | 相当于SUS304 |
球 | SUS440C(硬度55-60HRC) 薄膜氟涂层 |
弹簧 | SUS631J1 |