更新日期：2025年03月26日
第8讲 “关于防脱落零件”
零件脱落
半导体生产设备的内部非常复杂。
听说在组装及维护设备时，哪怕只有1根螺丝、1个垫圈掉落在设备内部，为了确保设备品质，也必须将其找到。
听说在组装及维护设备时，哪怕只有1根螺丝、1个垫圈掉落在设备内部，为了确保设备品质，也必须将其找到。
NBK备有可防止螺丝、垫圈掉落及脱落的产品
带螺丝保持功能的工具
能通过工具的前端保持螺丝位置的六角螺丝刀、六角套筒。可轻松安装或拆卸不易抓握的细小螺丝、手无法触及的深处的螺丝。
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| 产品名称 | 六角螺丝刀（带螺丝保持功能） | 六角套筒（带螺丝保持功能） |
| 代表型号 | SKCD | SKCK |
垫圈装入型
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| 材质 | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) |
| 产品名称 | 带垫圈内六角圆柱头螺栓（通孔型） | 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓（通孔型） | 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓 | 带垫圈内六角圆柱头螺栓（I=3） | 带垫圈十字槽盘头小螺钉（I=1） | 带垫圈十字槽盘头小螺钉（I=3） | 带垫圈内六角圆柱头螺栓（通孔型）（I=1） |
| 代表型号 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI1S | SNPI3S | SVSI1S |
| 产品系列请看这里 |
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| 材质 | TW340（2类钛） | TW340（2类钛） | 相当于SUS304 | 相当于SUS304 |
| 产品名称 | 钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓（I=1） | 钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓（I=3） | 带垫圈六角螺栓(P=2) | 带垫圈六角螺栓(P=3) |
| 代表型号 | SNSI1T | SNSI3T | SNHP2S | |
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防脱落螺丝、垫圈
由于防脱落螺丝是卡在盖子的螺孔上，即使从框架上拆卸下螺丝，防脱落螺丝也不会从盖子上脱落的构造。
防脱落垫圈从框架上卸下安装于盖子上的螺丝时，螺丝不会脱落。
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| 材质 | SUS316L | 高强度钛合金 | 高强度不锈钢 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (相当于SUS304) | 不锈钢 |
| 产品名称 | 内六角防脱落螺钉 | 内六角防脱落螺钉 | 内六角防脱落螺钉 | 内六角短头防脱落螺钉 | 十字槽防脱落伞头小螺钉 | 防脱落垫圈 | 内六角防脱落螺丝、防脱落垫圈套件 |
| 代表型号 | SSC-SNSL | SSC-SNSTG | SSC-SNSLG | SSC-SLHL | SSCML | SWAS-SC | SSC-SET |
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各种半导体生产工序的课题解决案例
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