更新日期：2025年05月23日
第2讲 关于真空环境
很多半导体生产设备都使用了真空技术。
真空并不是所有的装置都需要，主要是使用等离子体及电子光束的装置需要。
我们将利用真空泵形成真空环境的盒子、房间称为真空室。
真空并不是所有的装置都需要，主要是使用等离子体及电子光束的装置需要。
我们将利用真空泵形成真空环境的盒子、房间称为真空室。
为什么半导体生产设备需要真空？
・为了减少杂质，提高反应的质量
在杂质较少的真空中通过成膜及蚀刻等加工，可进行高质量处理。
・为了降低沸点
通过降低沸点，可以在较低的温度下处理芯片。
抑制温度变化，芯片不易变形。
并且，制造装置侧也需要采用可承受高温的材质、规格。
・为了产生等离子体
如果是低压，施加的电力就会变低。
并且还可以用各种气体种类产生等离子体。
在杂质较少的真空中通过成膜及蚀刻等加工，可进行高质量处理。
・为了降低沸点
通过降低沸点，可以在较低的温度下处理芯片。
抑制温度变化，芯片不易变形。
并且，制造装置侧也需要采用可承受高温的材质、规格。
・为了产生等离子体
如果是低压，施加的电力就会变低。
并且还可以用各种气体种类产生等离子体。
真空的分类
尽管统称为真空，但也分为若干类。
・低真空： 大气压以下（不含大气压）～100 Pa
・中真空： < 100 Pa～0.1 Pa
・高真空： < 0.1 Pa～10⁻⁶ Pa
・超高真空：< 10⁻⁶ Pa～10⁻⁹ Pa
・极高真空：低于10⁻⁹ Pa
NBK备有适于在真空环境下使用的产品
真空装置用螺丝
备有为排除螺孔底部及钻孔中残留气体的抽真空提供支持的螺丝、垫圈。
可抑制使用时的脆性破坏和在真空环境下发生漏气。
＜丰富的产品系列＞ 请由此查看真空装置用螺丝的全部产品系列
・低排气
通过特殊表面处理对表面进行了改质。漏气量极小。
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| 材质 | SUSXM7 (相当于SUS304) |
钛合金 | |||||
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
纯钛内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （钛合金 / 通孔型） |
钛合金十字槽埋头小螺丝 （通孔型） |
内六角极短头小头螺栓（钛合金 / 通孔型） | 钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓 |
钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓 |
| 代表型号 | SVSS-PC | SVST | SVSHT | SVFT | SVSHT-SD | SNSI1T | SNSI3T |
| 产品系列请看这里 | |||||||
・各种材质
备有耐腐蚀性高的镍铬合金（相当）或哈氏合金（相当）、非磁性钛合金等广泛产品系列。
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| 材质 | SUS304･SUSXM7 （相当于SUS304) |
SUS316L | ||||
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
六角螺栓 （通孔型） |
内六角止动螺丝 (通孔型) |
内六角圆柱头螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
垫圈装入型高强度不锈钢 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
| 代表型号 | SVSS | SVHS | SVTS | SVSL | SVSQLG | SVSHL |
| 产品系列请看这里 | 产品系列请看这里 | |||||
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| 材质 | 相当于镍铬合金 | 纯钼 | 相当于哈氏合金 | 铝合金 | 纯钛 | |
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （相当于镍铬合金 / 通孔型） |
钼制内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角圆柱头螺栓 （相当于哈氏合金 C-22 / 通孔型） |
内六角圆柱头螺栓 （相当于哈氏合金 C-276 / 通孔型） |
铝合金内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
纯钛内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
| 代表型号 | SVSI | SVSM | SVSH-C22 | SVSH-C276 | SVSA | SVST |
| 产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
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・各种形状
备有短头螺栓及垫圈装入型、夹紧螺丝等广泛产品系列。
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| 形状示例 | 短头螺栓 | 极短头螺栓 | 六角支柱 | 夹紧螺丝 | 带垫圈 | 垫圈 |
| 产品名称 | 内六角短头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （通孔型） |
六角支柱 （通孔型） |
夹紧螺丝 （通孔型） |
垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
垫圈（通槽型） |
| 代表型号 | SVLS |
SVSHS | SHVAS | SCSS-VR | SVSQLG | SWAS-VF |
| 产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
・粘连、烧结对策
备有适于粘连、烧结对策的产品。
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| 材质 | SUS316L | SUSXM7(相当于SUS304) |
SUSXM7(相当于SUS304) |
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （ 通孔型/ 表面硬化处理） |
内六角圆柱头螺栓 （通孔型/ 二硫化钼喷丸） | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型/ 镀银） |
| 代表型号 | SVSL-PN | SVSS-MOS | SVSS-AG |
| 产品系列请看这里 | |||
请由此查看真空装置用螺丝的全部产品系列
低排气产品
除真空装置用螺丝之外，还备有低排气的螺丝、联轴器。・螺丝
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| 材质 | SPD-C | SPDC-H | SPE-C |
| 产品名称 | VESPEL SP-1 | VESPEL SCP-5000 | PEEK |
| 产品系列请看这里 |
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・联轴器
我们备有可用于无尘室、真空中、高温（80℃以上）等特殊环境的联轴器。
| 类型 | 一体狭缝切割型 | 十字滑块型 | 膜片型 | ||||
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| 照片 |  |
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| 型号 | XSTS | XWSS | MSXP | MOHS | MOP | XBWS＊ | XBSS＊ |
| 材质 | SUS316L | SUS316L | PEEK | SUS303 VESPEL＊＊ SUSXM7 |
A2017 PEEK SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
| 洗净方法 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净＊ | 超声波洗净＊ |
| 低尘 | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | ○ |
| 适用于真空环境 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 低排气 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 耐热 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 耐药性 | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 零背隙 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
| 高扭矩 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 高扭转刚性 | ◎ | ◎ | |||||
| 容许误差调整 | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | |
◎:特优 ○:优 △:可能产生磨屑。
＊XBWS XBSS 为未洗净品。可根据客户要求进行“无尘洗净、无尘包装”。
＊＊VESPEL是美国杜邦公司的注册商标。
无尘洗净、无尘包装服务
可提供无尘洗净和无尘包装，可以直接在真空室及无尘室中使用。各种半导体生产工序的课题解决案例
下面介绍各种半导体生产工序的课题解决案例。预工序请点击这里
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产品介绍
无尘、真空、无磁性
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