公布日期：2024年03月18日
什么是SiC（碳化硅）螺丝？
[SiC（碳化硅）]
碳化硅（SiC）是一种陶瓷材料，具有出色的耐热性和耐药品性，硬度仅次于金刚石和碳化硼（新莫氏硬度：金刚石 = 15，碳化硅 = 13）。
它具有与金刚石相似的晶体结构，通过强共价键保持高硬度，即使在高温下其机械强度也不易下降。 因此，碳化硅的熔点超过2500℃，也被用作铁水流槽的材料。
[SiC（碳化硅）螺丝的特点]
SiC（碳化硅）螺丝（NBK产品型号：SICX)的主要特点是耐热性和耐药品性。
耐热性：使用温度约为1500℃。 由于线膨胀系数小，因此可以抑制热膨胀对螺丝的影响。
耐药品性：可抵抗半导体制造中不可或缺的氨水、过氧化氢水、氢氟酸和SPM等高腐蚀性药液。
[SICX 产品页面]
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[SICX的用途]
随着半导体器件的超小型化和高性能化，清洗工艺中使用的药液（例如晶圆清洗液等）比以往更具腐蚀性。
晶圆加工的温度也变得更高，需要耐高温的螺丝。
在使用这些高腐蚀性药液的装置和高温环境下，SICX非常有效。
应用实例
・晶圆清洗装置
・内部高温装置（离子注入装置、曝光装置的光源、成膜装置、蚀刻装置等）
[SiC的特点]
| 物性 | |
|---|---|
| 比重 (g/cm3) | 3.12 |
| 体积固有电阻(Ω・m) | 0.2~1.8×10-1 |
| 热传导率(W/(m・k)) | 153 |
| 线性膨胀系数(K-1) | 4.3×10-6 |
| 维氏硬度(GPa) | 22(21.7) |
| 吸水率 | 0.1以下 |
| 杨氏模量(GPa) | 402 |
| 三点弯曲试验(MPa) | 470 |
| 药品名 | 温度 | 影响 |
|---|---|---|
| 氨(28.0～30.0％) | 室内温度 | ◎ |
| 过氧化氢水(30.0～35.5％) | 室内温度 | ◎ |
| 氢氟酸(49.5～50.5％) | 室内温度 | ◎ |
| 50％硫酸 | 室内温度 | ◎ |
- ◎：不认为发生腐蚀
- 〇：微量腐蚀
- △：中度腐蚀
- ×：严重腐蚀
※以上非SICX（SiC螺丝）的数值，是SiC材料的数值。是一般数值，不是保证值。
产品介绍
特殊螺丝
